主要特點: A 采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件, 同時提高了抑制打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。 B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式, 更能保證鍍膜工藝的重復性。 C 具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象, 充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。 D 主要參數可大范圍調節 E 可選擇手動控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。 采用先進的PWM脈寬調制技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件, 體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。 該系列產品采用先進的DSP控制系統,充分保證鍍膜工藝的重復性, 并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶面清洗工藝的穩定性,又提高了靶面清洗速度; 主要參數均可大范圍連續調節; 方便維護,可靠性高; PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控制。