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碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司
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姜經理 先生
電話：86-0532-88533525
手機：13869885308
傳真：86--
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碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司
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發布時間：
2025/2/8 16:53:00
碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司 詳細說明
​主要技術指標：
★可處理硅片尺寸：2—8英寸
★外型形式：臥式1—4管結構
★工作溫度：200℃—1300℃
★恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
★單點溫度穩定性、重復性：≤±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
★氣路系統：1—5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
★控制方式：工控機、觸摸屏
青島晨立電子有限公司主要產品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、高 精 度智能溫度控制系統和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產線，進口半導體專 用設備的翻新升級改造及各大專院�？蒲性核姆菢搜邪l定制工作。
本產品網址：
http://m.338jjj.com/sjshow_507802898/
手機版網址：
http://m.vooec.com/trade_507802898.html
產品名稱：碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 青島晨立電子有限公司
·聯系方式
青島晨立電子有限公司
姜經理 先生 經理
電 話：
86-0532-88533525
傳 真：
86--
手 機：
13869885308
地 址：
山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓
網 址：
http://chenlidianzi.cn.vooec.com
郵 編：
266200
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