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SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐 晨立電子 詳細說明 |
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擴散爐系列設備用途：用于大規模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光 電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。 設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術指標：
★ 爐管數： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制： 浮子/質量流量計
★ 懸臂舟參數： 速度： 20～1000 mm/min ~大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm ~大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺： 凈化等級：100級（萬級廠房）噪音： ≤62dB（A）振動： ≤3μm
本產品網址：http://m.338jjj.com/sjshow_507802902/
手機版網址：http://m.vooec.com/trade_507802902.html
產品名稱：SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐 晨立電子 |
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